640B和641B壓力控制器是獨立、緊湊的閉環電子壓力控制系統。每個都包含一個電容式壓力計、常閉比例控制閥和閉環控制電子設備。640B控制絕對壓力；641控制表壓（相對于環境大氣壓的壓力）。兩種傳感器均為Baratron®電容式壓力計，滿標度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計——以其讀數精度、穩定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動態范圍內提供比應變更精確的測量 儀表傳感器。此外，Baratron電容壓力計沒有硅油填充，這會導致滯后，并會減慢控制器的時間響應。 與標準MFC在電氣上類似，640B/641B僅在200 mA時由±15 VDC供電，允許與標準電源/顯示電子設備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個觸發點，帶有LED狀態指示燈，用作簡單的開/關流程限制。 在MKS的最終測試期間，640/641控制回路調諧參數是針對典型安裝條件預設的，但可針對不同條件和最佳性能進行現場調整。比例和積分項調整是簡單的旋轉開關，而不是電位計，以使OEM或具有多個控制器的用戶能夠將所有裝置預設為相同的控制回路參數。